Opis
Enokristalni silicijev ingotis običajno zrasla kot velik cilindrični ingot s tehnologijami natančnega dopinga in vlečenja Czochralski CZ, Czochralski MCZ z magnetnim poljem in metode FZ z lebdečo cono.Metoda CZ je najpogosteje uporabljena za rast kristalov silicija velikih cilindričnih ingotov s premerom do 300 mm, ki se uporabljajo v elektronski industriji za izdelavo polprevodniških naprav.Metoda MCZ je različica metode CZ, pri kateri magnetno polje, ki ga ustvari elektromagnet, lahko doseže sorazmerno nizko koncentracijo kisika, nižjo koncentracijo nečistoč, manjšo dislokacijo in enakomerno variacijo upornosti.Metoda FZ olajša doseganje visoke upornosti nad 1000 Ω-cm in kristala visoke čistosti z nizko vsebnostjo kisika.
Dostava
Enokristalni silicijev ingot CZ, MCZ, FZ ali FZ NTD s prevodnostjo tipa n ali p pri Western Minmetals (SC) Corporation je mogoče dobaviti v velikostih 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm in 200 mm premera (2, 3 , 4, 6 in 8 palcev), usmerjenost <100>, <110>, <111> s površino ozemljeno v paketu plastične vrečke znotraj s kartonsko škatlo zunaj ali kot specifikacija po meri za doseganje popolne rešitve.
.
Tehnična specifikacija
Ingot monokristalnega silicija CZ, MCZ, FZ ali FZ NTDs prevodnostjo n-tipa ali p-tipa pri Western Minmetals (SC) Corporation se lahko dobavi v velikostih 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm in 200 mm premera (2, 3, 4, 6 in 8 palcev), orientacija <100 >, <110>, <111> s površino, ozemljeno v paketu plastične vrečke znotraj s kartonsko škatlo zunaj, ali kot specifikacija po meri, da dosežete popolno rešitev.
št. | Predmeti | Standardna specifikacija | |
1 | Velikost | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12" | |
2 | Premer mm | 50.8-241.3 ali po potrebi | |
3 | Metoda rasti | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Vrsta prevodnosti | P-tip / dopiran z borom, N-tip / dopiran s fosfidom ali brez dopiranja | |
5 | Dolžina mm | ≥180 ali po potrebi | |
6 | Orientacija | <100>, <110>, <111> | |
7 | Upornost Ω-cm | Kot zahteva | |
8 | Vsebnost ogljika a/cm3 | ≤5E16 ali po potrebi | |
9 | Vsebnost kisika a/cm3 | ≤1E18 ali po potrebi | |
10 | Kovinska kontaminacija a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) ali <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Pakiranje | Plastična vrečka znotraj, škatla iz vezanega lesa ali kartonska škatla zunaj. |
Simbol | Si |
Atomsko število | 14 |
Atomska teža | 28.09 |
Kategorija elementa | Metaloid |
Skupina, Pika, Blok | 14, 3, str |
Kristalna struktura | Diamant |
barva | Temno siva |
Tališče | 1414°C, 1687,15 K |
Vrelišče | 3265°C, 3538,15 K |
Gostota pri 300K | 2,329 g/cm3 |
Notranja upornost | 3,2E5 Ω-cm |
Številka CAS | 7440-21-3 |
Številka ES | 231-130-8 |
Enokristalni silicijev ingot, ko je popolnoma zrasel in kvalificiran, njegova upornost, vsebnost nečistoč, kristalna popolnost, velikost in teža, je ozemljen z diamantnimi kolesi, da postane popoln valj na pravi premer, nato pa je podvržen postopku jedkanja, da se odstranijo mehanske napake, ki jih pusti postopek brušenja. .Nato se cilindrični ingot razreže na bloke z določeno dolžino, avtomatizirani sistemi za ravnanje z rezinami pa dobijo zarezo in primarno ali sekundarno ploščo za poravnavo, da prepoznajo kristalografsko orientacijo in prevodnost pred postopkom rezanja rezin v smeri toka.
Nasveti za nabavo
Enokristalni silicijev ingot