wmk_product_02

Epitaksialna (EPI) silicijeva rezina

Opis

Epitaksialna silicijeva rezinaali EPI Silicon Wafer, je rezina polprevodniške kristalne plasti, nanesene na polirano kristalno površino silicijevega substrata z epitaksialno rastjo.Epitaksialna plast je lahko enak material kot substrat s homogeno epitaksialno rastjo ali eksotična plast s specifično zaželeno kakovostjo s heterogeno epitaksialno rastjo, ki uporablja tehnologijo epitaksialne rasti, vključno s kemičnim naparjevanjem CVD, tekočefazno epitaksijo LPE, kot tudi molekularni žarek epitaksija MBE za doseganje najvišje kakovosti nizke gostote napak in dobre hrapavosti površine.Silicijeve epitaksialne rezine se uporabljajo predvsem v proizvodnji naprednih polprevodniških naprav, visoko integriranih polprevodniških elementov IC, diskretnih in močnostnih naprav, ki se uporabljajo tudi za element diod in tranzistorjev ali substrat za IC, kot so bipolarni tip, naprave MOS in BiCMOS.Poleg tega se večplastne epitaksialne in debeloslojne EPI silicijeve rezine pogosto uporabljajo v mikroelektroniki, fotoniki in fotovoltaiki.

Dostava

Epitaxial Silicon Wafers ali EPI Silicon Wafer pri Western Minmetals (SC) Corporation je na voljo v velikosti 4, 5 in 6 palcev (premer 100 mm, 125 mm, 150 mm), z orientacijo <100>, <111>, upornostjo epiplasta <1 ohm -cm ali do 150 ohm-cm in debelino epilaja <1 um ali do 150 um, za izpolnitev različnih zahtev glede površinske obdelave jedkane ali LTO obdelave, pakirano v kaseti s kartonsko škatlo zunaj ali kot specifikacija po meri za popolno rešitev . 


Podrobnosti

Oznake

Tehnična specifikacija

Epi Silicon Wafer

SIE-W

Epitaksialne silicijeve rezineali EPI Silicon Wafer pri Western Minmetals (SC) Corporation je mogoče ponuditi v velikosti 4, 5 in 6 palcev (premer 100 mm, 125 mm, 150 mm), z orientacijo <100>, <111>, upornostjo epilaja <1 ohm-cm ali do 150 ohm-cm in debelino epilaja <1 um ali do 150 um, za izpolnitev različnih zahtev glede površinske obdelave jedkane ali LTO obdelave, pakirano v kaseti s kartonsko škatlo zunaj ali kot specifikacija po meri za popolno rešitev.

Simbol Si
Atomsko število 14
Atomska teža 28.09
Kategorija elementa Metaloid
Skupina, Pika, Blok 14, 3, str
Kristalna struktura Diamant
barva Temno siva
Tališče 1414°C, 1687,15 K
Vrelišče 3265°C, 3538,15 K
Gostota pri 300K 2,329 g/cm3
Notranja upornost 3,2E5 Ω-cm
Številka CAS 7440-21-3
Številka ES 231-130-8
št. Predmeti Standardna specifikacija
1 Splošne značilnosti
1-1 Velikost 4" 5" 6"
1-2 Premer mm 100±0,5 125±0,5 150±0,5
1-3 Orientacija <100>, <111> <100>, <111> <100>, <111>
2 Značilnosti epitaksialne plasti
2-1 Metoda rasti KVB KVB KVB
2-2 Vrsta prevodnosti P ali P+, N/ ali N+ P ali P+, N/ ali N+ P ali P+, N/ ali N+
2-3 Debelina μm 2,5-120 2,5-120 2,5-120
2-4 Enakomernost debeline ≤3 % ≤3 % ≤3 %
2-5 Upornost Ω-cm 0,1-50 0,1-50 0,1-50
2-6 Uniformnost upora ≤3 % ≤5 % -
2-7 Izpah cm-2 <10 <10 <10
2-8 Kakovost površine Brez ostružkov, meglice ali pomarančne lupine itd.
3 Značilnosti podlage za ročaj
3-1 Metoda rasti CZ CZ CZ
3-2 Vrsta prevodnosti št št št
3-3 Debelina μm 525-675 525-675 525-675
3-4 Debelina Enakomernost maks 3% 3% 3%
3-5 Upornost Ω-cm Kot zahteva Kot zahteva Kot zahteva
3-6 Uniformnost upora 5% 5% 5%
3-7 TTV μm maks 10 10 10
3-8 Lok μm maks 30 30 30
3-9 Deformacija μm maks 30 30 30
3-10 EPD cm-2 maks 100 100 100
3-11 Robni profil Zaokroženo Zaokroženo Zaokroženo
3-12 Kakovost površine Brez ostružkov, meglice ali pomarančne lupine itd.
3-13 Zaključek hrbtne strani Jedkano ali LTO (5000±500Å)
4 Pakiranje Kaseta znotraj, kartonska škatla zunaj.

Silicijeve epitaksialne rezinese primarno uporabljajo v proizvodnji naprednih polprevodniških naprav, visoko integriranih polprevodniških elementov IC, diskretnih in močnostnih naprav, ki se uporabljajo tudi za element diod in tranzistorjev ali substrat za IC, kot so bipolarne naprave MOS in BiCMOS.Poleg tega se večplastne epitaksialne in debeloslojne EPI silicijeve rezine pogosto uporabljajo v mikroelektroniki, fotoniki in fotovoltaiki.

GaSb-W

SIE-W1

sm6

SIE-W3

s8

PK-26 (2)

Nasveti za nabavo

  • Vzorec na voljo na zahtevo
  • Varna dostava blaga s kurirjem/zrakom/po morju
  • Upravljanje kakovosti COA/COC
  • Varno in priročno pakiranje
  • Standardno pakiranje ZN je na voljo na zahtevo
  • Certificiran ISO9001:2015
  • Pogoji CPT/CIP/FOB/CFR po Incoterms 2010
  • Prilagodljivi plačilni pogoji T/TD/PL/C sprejemljivi
  • Poprodajne storitve polne dimenzije
  • Inšpekcija kakovosti v najsodobnejši napravi
  • Odobritev predpisov Rohs/REACH
  • Sporazumi o nerazkritju NDA
  • Politika nekonfliktnih mineralov
  • Redni pregled ravnanja z okoljem
  • Izpolnjevanje družbene odgovornosti

Epitaksialna silicijeva rezina


  • Prejšnja:
  • Naslednji:

  • QR koda